Safiye Sultan'ın kölesi Osman Ağa eserin yapımına nezaret etmiştir. XVII. yüzyılda Mısır'a çeşitli seferler yapan Evliya Çelebi camiyi, "Yirmişer basamak merdivenle çıkılır, altmış sütun üzerine yapılmıştır, avlusunun etrafı altmış adet kârgir kubbedir, avlusu mermer döşelidir, mihrabı, minber ve minaresi Anadolu üslûbundadır, cemaati gayet çoktur" şeklinde tasvir etmektedir. 1930'da Kral I. Fuâd zamanında büyük onarım gören yapı Osmanlı tarzında bir çevre duvarıyla kuşatılmış bahçe içinde planlanmıştır. Ancak bu dış avlu duvarları ve avlu kapılarından ikisi günümüze kadar gelmemiştir. Bugün mevcut olan kuzeydoğu yönündeki kapı Kazzâzîn Kapısı adıyla tanınmakta olup mukarnas dolgulu üç dilimli kemerli bir niş içinde basık kemerli bir açıklıktan ibarettir.
Safiye Sultan Camii, 50 × 30 m. ölçülerinde, zeminden 4 m. yükseklikteki bir platform üzerinde düzgün kesme taştan inşa edilmiştir. Yapı altta sivri kemerli alınlıklar altında dikdörtgen açıklıklı, üstte sivri kemerli açıklıklı iki sıra pencereli cephelere sahiptir. Avlunun cepheleri ortasında üç dilimli kemerli düzenlenen taçkapıların altta basık kemerli açıklıkları vardır. Bu taçkapıların önlerinde yer alan ve avluya ulaşımı sağlayan yarım daire formlu merdivenlerden kuzeydoğu cephesindeki bugün mevcut değildir. Yapının dışarıdan dikkat çeken taraflarından biri de harim kısmının kornişleri düz bırakılmışken avlu duvarlarının Memlük üslûbunda dendanlarla nihayetlendirilmesidir.
26,70 × 26,30 m. ölçülerindeki kare planlı revaklı avlunun altı sarnıç olarak değerlendirilmiştir. Bu bakımdan Kahire'deki Mehmed Ali Paşa Camii ile Tunus'taki Kasba Camii'ne benzemektedir. Revaklar, on iki beyaz mermer sütunun taşıdığı sivri kemerlere oturan ve pandantiflerle geçilen küçük kubbelerle örtülmüştür. Yalnızca avlunun orta aksında yer alan üç avlu kapısı ile camiye geçişi sağlayan kapının önlerinde revak birimleri çapraz tonozla kapatılmıştır. Son cemaat yerinde ortada mukarnas dolgulu üç dilimli kemerli niş içinde basık kemerli açıklığa sahip harim kapısının iki yanında ortalarında sivri kemerli birer mihrâbiye ile sivri kemer alınlıklı, dikdörtgen şekilli ikişer pencere bulunmaktadır. İki uçta da yine üç dilimli kemerli düzeniyle harime açılan tâli kapılar mevcuttur. Avluyu çevreleyen revaklar bir seki halinde taş döşemeli avlu zemininden 25 cm. kadar yükseltilmiştir.
Harim 20 × 18 m. ölçülerinde yaklaşık kare planlıdır. Ortadaki merkezî kubbeyi, 5,20 m. yüksekliğindeki altı granit mermer sütuna dayanan altı büyük sivri kemer taşımaktadır. Köşe boşlukları dört küçük kubbeyle örtülürken 3,95 m. dışarıya taşan küçük bir eyvan şeklindeki mihrap çıkıntısının üzerini küçük bir kubbe kapatmaktadır. Harimin kuzeybatı duvarının içinde kapı ve pencere açıklıklarının hemen üzerinde Anadolu'daki camilerde olduğu gibi boydan boya yerleştirilen müezzin mahfilinin üstünü beşik tonoz ve küçük kubbeler örtmektedir. Zeminden 17,60 m. yükseklikteki merkezî kubbe ve diğer kubbelerin içi sade, süslemesiz bırakılmıştır. Beden duvarlarındaki pencerelerle kubbe kasnaklarındaki pencereler oldukça ferah bir iç mekân elde etmeye imkân tanımıştır. Anadolu dışında altı istinatlı cami planı başarılı bir şekilde bu yapıda uygulanmıştır.
Mihrap 2,35 m. genişliğinde, 1,15 m. derinliğinde, 3,75 m. yüksekliğinde olup tamamen mermerdendir ve iki sütunçeye dayanan sivri kemerli bir nişten ibarettir. Kırmızı, siyah, beyaz renkte niş içinde kemercikler, kavsarada ise zikzak motifleri işlenirken kemer köşeliklerine birer büyük gülbezekle etrafında beyaz zemin üzerine mavi renkli İznik yapımı çini kaplamalar yerleştirilmiştir. Mermer minber önde basık, yanda sivri kemerli açıklıkları, geometrik kompozisyonlu ajurlu korkuluk ve yan aynalarındaki geometrik ajur ve bitkisel süslemeleriyle dikkati çekmektedir. Minberle birlikte mihrap Kahire'de başşehir etkisinin boyutlarını ortaya koyan önemli örnekler olarak kabul edilmektedir. Güneybatı cephesinin ortasında yer alan minare kare kaidesi üzerinde üçgenlerle geçilen ve silmelerle süslenen silindirik gövdeli, mukarnaslara oturan taş korkuluklu ve tek şerefelidir. Üstte silindirik petek ve kurşun kaplı külâhla sonlanan minare Anadolu minare formunu Kahire'de yaşatan bir örnek durumundadır.
Kaynak: TÜRKİYE DİYANET VAKFI İSLAM ANSİKLOPEDİSİ